Projekt Chip MBE bol dokončený v posledných rokoch

Technológie

Molekulárna epitaxa lúča alebo MBE je nová technika na pestovanie vysoko kvalitných tenkých vrstiev kryštálov na kryštálových substrátoch. V podmienkach ultravysokého vákua je ohrievací sporák vybavený všetkými druhmi požadovaných komponentov a generuje paru cez otvory vytvorené po kolimácii atómového alebo molekulárneho lúča priamym vstrekovaním na vhodnú teplotu monokryštálového substrátu, riadením pri súčasnom skenovaní substrátu môže vytvoriť molekuly alebo atómy v kryštalických zarovnávacích vrstvách a vytvoriť tenký film na „raste“ substrátu.

Pre normálnu prevádzku zariadenia MBE sa vyžaduje, aby sa do chladiacej komory zariadenia nepretržite a stabilne prepravoval vysokočistý, nízky tlak a ultračistý tekutý dusík. Všeobecne platí, že nádrž, ktorá poskytuje tekutý dusík, má výstupný tlak medzi 0,3 MPa a 0,8 MPa. Kvapalný dusík s teplotou -196 ° C sa počas prepravy potrubím ľahko odparí na dusík. Akonáhle sa kvapalný dusík s pomerom plyn-kvapalina približne 1: 700 splyní v potrubí, zaberie veľké množstvo prietokového priestoru kvapalného dusíka a zníži normálny prietok na konci potrubia s kvapalným dusíkom. Okrem toho sa v zásobnej nádrži na tekutý dusík pravdepodobne nachádzajú nečistoty, ktoré neboli vyčistené. V potrubí na kvapalný dusík bude existencia mokrého vzduchu tiež viesť k tvorbe ľadovej trosky. Ak sa tieto nečistoty dostanú do zariadenia, spôsobí to nepredvídateľné poškodenie zariadenia.

Preto sa kvapalný dusík vo vonkajšej skladovacej nádrži prepravuje do zariadenia MBE v bezprašnej dielni s vysokou účinnosťou, stabilitou a čistotou a nízky tlak, bez dusíka, bez nečistôt, nepretržite 24 hodín, takýto systém riadenia dopravy je kvalifikovaný výrobok.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Zodpovedajúce vybavenie MBE

Spoločnosť HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) od roku 2005 optimalizuje a zdokonaľuje tento systém a spolupracuje s medzinárodnými výrobcami zariadení MBE. Výrobcovia zariadení MBE, vrátane DCA, REBER, spolupracujú s našou spoločnosťou. Výrobcovia zariadení MBE vrátane DCA a REBER spolupracovali na mnohých projektoch.

Riber SA je popredný svetový poskytovateľ produktov epitaxy molekulárneho lúča (MBE) a súvisiacich služieb pre výskum zložených polovodičov a priemyselné aplikácie. Zariadenie Riber MBE dokáže na podklad ukladať veľmi tenké vrstvy materiálu s veľmi vysokou úrovňou kontroly. Vákuové zariadenie spoločnosti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) je vybavené spoločnosťou Riber SA. Najväčšie zariadenie je Riber 6000 a najmenšie je Compact 21. Je v dobrom stave a zákazníci ho uznali.

DCA je popredný svetový oxid MBE. Od roku 1993 sa systematicky vyvíja oxidačná technika, antioxidačné zahrievanie substrátu a antioxidačné zdroje. Z tohto dôvodu si mnoho popredných laboratórií zvolilo technológiu oxidu DCA. Kompozitné polovodičové systémy MBE sa používajú po celom svete. Systém cirkulácie kvapalného dusíka VJ spoločnosti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) a zariadenie MBE viacerých modelov DCA majú zodpovedajúce skúsenosti v mnohých projektoch, napríklad v modeloch P600, R450, SGC800 atď.

tcm (2)

Výkonnostná tabuľka

Šanghajský inštitút technickej fyziky, Čínska akadémia vied
11. inštitút čínskej elektronickej technológie
Inštitút polovodičov, Čínska akadémia vied
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Čas zverejnenia: 26. mája - 20. mája