Technológie
Molekulárna epitaxa lúča alebo MBE je nová technika na pestovanie vysoko kvalitných tenkých vrstiev kryštálov na kryštálových substrátoch. V podmienkach ultravysokého vákua je ohrievací sporák vybavený všetkými druhmi požadovaných komponentov a generuje paru cez otvory vytvorené po kolimácii atómového alebo molekulárneho lúča priamym vstrekovaním na vhodnú teplotu monokryštálového substrátu, riadením pri súčasnom skenovaní substrátu môže vytvoriť molekuly alebo atómy v kryštalických zarovnávacích vrstvách a vytvoriť tenký film na „raste“ substrátu.
Pre normálnu prevádzku zariadenia MBE sa vyžaduje, aby sa do chladiacej komory zariadenia nepretržite a stabilne prepravoval vysokočistý, nízky tlak a ultračistý tekutý dusík. Všeobecne platí, že nádrž, ktorá poskytuje tekutý dusík, má výstupný tlak medzi 0,3 MPa a 0,8 MPa. Kvapalný dusík s teplotou -196 ° C sa počas prepravy potrubím ľahko odparí na dusík. Akonáhle sa kvapalný dusík s pomerom plyn-kvapalina približne 1: 700 splyní v potrubí, zaberie veľké množstvo prietokového priestoru kvapalného dusíka a zníži normálny prietok na konci potrubia s kvapalným dusíkom. Okrem toho sa v zásobnej nádrži na tekutý dusík pravdepodobne nachádzajú nečistoty, ktoré neboli vyčistené. V potrubí na kvapalný dusík bude existencia mokrého vzduchu tiež viesť k tvorbe ľadovej trosky. Ak sa tieto nečistoty dostanú do zariadenia, spôsobí to nepredvídateľné poškodenie zariadenia.
Preto sa kvapalný dusík vo vonkajšej skladovacej nádrži prepravuje do zariadenia MBE v bezprašnej dielni s vysokou účinnosťou, stabilitou a čistotou a nízky tlak, bez dusíka, bez nečistôt, nepretržite 24 hodín, takýto systém riadenia dopravy je kvalifikovaný výrobok.
Zodpovedajúce vybavenie MBE
Spoločnosť HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) od roku 2005 optimalizuje a zdokonaľuje tento systém a spolupracuje s medzinárodnými výrobcami zariadení MBE. Výrobcovia zariadení MBE, vrátane DCA, REBER, spolupracujú s našou spoločnosťou. Výrobcovia zariadení MBE vrátane DCA a REBER spolupracovali na mnohých projektoch.
Riber SA je popredný svetový poskytovateľ produktov epitaxy molekulárneho lúča (MBE) a súvisiacich služieb pre výskum zložených polovodičov a priemyselné aplikácie. Zariadenie Riber MBE dokáže na podklad ukladať veľmi tenké vrstvy materiálu s veľmi vysokou úrovňou kontroly. Vákuové zariadenie spoločnosti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) je vybavené spoločnosťou Riber SA. Najväčšie zariadenie je Riber 6000 a najmenšie je Compact 21. Je v dobrom stave a zákazníci ho uznali.
DCA je popredný svetový oxid MBE. Od roku 1993 sa systematicky vyvíja oxidačná technika, antioxidačné zahrievanie substrátu a antioxidačné zdroje. Z tohto dôvodu si mnoho popredných laboratórií zvolilo technológiu oxidu DCA. Kompozitné polovodičové systémy MBE sa používajú po celom svete. Systém cirkulácie kvapalného dusíka VJ spoločnosti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) a zariadenie MBE viacerých modelov DCA majú zodpovedajúce skúsenosti v mnohých projektoch, napríklad v modeloch P600, R450, SGC800 atď.
Výkonnostná tabuľka
Šanghajský inštitút technickej fyziky, Čínska akadémia vied |
11. inštitút čínskej elektronickej technológie |
Inštitút polovodičov, Čínska akadémia vied |
Huawei |
Alibaba DAMO Academy |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Čas zverejnenia: 26. mája - 20. mája