Projekt Chip MBE dokončený v posledných rokoch

Technológia

Molekulárna epitaxia alebo MBE je nová technika na pestovanie vysoko kvalitných tenkých filmov kryštálov na kryštálových substrátoch.V podmienkach ultravysokého vákua je vykurovacia pec vybavená všetkými druhmi požadovaných komponentov a vytvára paru, cez otvory vytvorené po kolimácii atómového alebo molekulárneho lúča, priame vstrekovanie na vhodnú teplotu monokryštálového substrátu, riadenie molekulárneho lúča na skenovanie substrátu v rovnakom čase môže spôsobiť, že molekuly alebo atómy v kryštálových vyrovnávacích vrstvách vytvárajú tenký film na "raste" substrátu.

Pre normálnu prevádzku zariadení MBE sa vyžaduje, aby bol vysoko čistý, nízkotlakový a ultračistý tekutý dusík nepretržite a stabilne transportovaný do chladiacej komory zariadenia.Vo všeobecnosti má nádrž, ktorá poskytuje tekutý dusík, výstupný tlak medzi 0,3 MPa a 0,8 MPa. Kvapalný dusík pri -196 °C sa počas prepravy potrubím ľahko odparí na dusík.Akonáhle sa kvapalný dusík s pomerom plyn-kvapalina približne 1:700 splyňuje v potrubí, zaberie veľké množstvo priestoru na tok kvapalného dusíka a zníži normálny tok na konci potrubia pre kvapalný dusík.Okrem toho sa v nádrži na skladovanie tekutého dusíka pravdepodobne nachádzajú nečistoty, ktoré neboli vyčistené.V potrubí s tekutým dusíkom bude existencia vlhkého vzduchu viesť aj k tvorbe ľadovej trosky.Ak sa tieto nečistoty dostanú do zariadenia, spôsobí to nepredvídateľné poškodenie zariadenia.

Preto sa kvapalný dusík vo vonkajšej skladovacej nádrži prepravuje do zariadenia MBE v bezprašnej dielni s vysokou účinnosťou, stabilitou a čistotou a nízky tlak, žiadny dusík, žiadne nečistoty, 24 hodín bez prerušenia, takýto systém riadenia prepravy je kvalifikovaný produkt.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Zodpovedajúce vybavenie MBE

Od roku 2005 spoločnosť HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) tento systém optimalizuje a vylepšuje a spolupracuje s medzinárodnými výrobcami zariadení MBE.Výrobcovia zariadení MBE, vrátane DCA, REBER, majú kooperatívne vzťahy s našou spoločnosťou.Výrobcovia zariadení MBE, vrátane DCA a REBER, spolupracovali na veľkom množstve projektov.

Riber SA je popredný svetový poskytovateľ produktov epitaxie molekulárnym lúčom (MBE) a súvisiacich služieb pre výskum zlúčenín polovodičov a priemyselné aplikácie.Zariadenie Riber MBE dokáže naniesť veľmi tenké vrstvy materiálu na substrát s veľmi vysokými kontrolami.Vákuové zariadenie HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) je vybavené Riber SA Najväčšie zariadenie je Riber 6000 a najmenšie je Compact 21. Je v dobrom stave a bolo uznané zákazníkmi.

DCA je popredným svetovým oxidom MBE.Od roku 1993 prebieha systematický vývoj oxidačných techník, zahrievania antioxidačného substrátu a zdrojov antioxidantov.Z tohto dôvodu si mnohé popredné laboratóriá zvolili technológiu oxidu DCA.Kompozitné polovodičové MBE systémy sa používajú po celom svete.VJ cirkulačný systém kvapalného dusíka HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) a MBE zariadenia viacerých modelov DCA majú zodpovedajúce skúsenosti v mnohých projektoch, ako je model P600, R450, SGC800 atď.

tcm (2)

Tabuľka výkonnosti

Šanghajský inštitút technickej fyziky, Čínska akadémia vied
11th Institute of China Electronics Technology Corporation
Inštitút polovodičov, Čínska akadémia vied
Huawei
Akadémia Alibaba DAMO
Spoločnosť Powertech Technology Inc.
Spoločnosť Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Čas odoslania: 26. mája 2021