Stručný prehľad vákuovo izolovaného potrubného systému v kryogénnej aplikácii čipového priemyslu

Za výrobu a dizajn vákuovo izolovaného potrubného systému na dopravu tekutého dusíka je zodpovedný dodávateľ.V prípade tohto projektu, ak dodávateľ nemá podmienky na meranie na mieste, musí dom poskytnúť výkresy smeru potrubia.Potom dodávateľ navrhne VI Potrubný systém pre scenáre s tekutým dusíkom.

Dodávateľ skompletizuje celkový návrh potrubného systému skúsenými projektantmi podľa výkresov, parametrov zariadenia, podmienok na mieste, charakteristík kvapalného dusíka a iných faktorov poskytnutých objednávateľom.

Obsahom návrhu je typ systémového príslušenstva, určenie materiálu a špecifikácie vnútorného a vonkajšieho potrubia, návrh izolačnej schémy, schéma prefabrikovaného prierezu, tvar spojenia medzi dielmi potrubia, vnútorný držiak potrubia , počet a poloha vákuového ventilu, odstránenie plynového uzáveru, požiadavky na kryogénnu kvapalinu koncového zariadenia atď. Túto schému by mal pred výrobou overiť odborný personál dopytujúceho.

Obsah návrhu vákuovo izolovaného potrubného systému je široký, tu pre aplikácie HASS a vybavenie MBE v niektorých bežných problémoch, jednoduchý rozhovor.

1 2

VI Potrubie

Zásobná nádrž na kvapalný dusík je zvyčajne dlhá od zariadenia HASS Application alebo MBE.Zatiaľ čo vákuovo izolované potrubie vstupuje do budovy v interiéri, je potrebné sa jej primerane vyhnúť v závislosti od usporiadania miestnosti v budove a umiestnenia potrubia a vzduchového potrubia.Preto prepravu kvapalného dusíka do zariadenia, najmenej stovky metrov potrubia.

Pretože samotný stlačený kvapalný dusík obsahuje veľké množstvo plynu v spojení s prepravnou vzdialenosťou, aj vákuové adiabatické potrubie bude v procese prepravy produkovať veľké množstvo dusíka.Ak dusík nie je vypúšťaný alebo sú emisie príliš nízke na to, aby spĺňali požiadavky, spôsobí to plynový odpor a povedie to k slabému toku tekutého dusíka, čo má za následok veľké zníženie prietoku.

Ak je prietok nedostatočný, nie je možné kontrolovať teplotu v komore s tekutým dusíkom zariadenia, čo môže v konečnom dôsledku viesť k poškodeniu zariadenia alebo kvality produktu.

Preto je potrebné vypočítať množstvo kvapalného dusíka, ktoré používa koncové zariadenie (aplikácia HASS alebo zariadenie MBE).Súčasne sa špecifikácie potrubia určujú aj podľa dĺžky a smeru potrubia.

Ak je hlavné potrubie vákuovo izolovanej rúrky/hadice DN50 (vnútorný priemer φ50 mm), vychádzajúc zo zásobníka kvapalného dusíka, jej odbočka VI rúrky/hadice je DN25 (vnútorný priemer φ25 mm) a hadica medzi odbočnou rúrou a koncové zariadenie je DN15 (vnútorný priemer φ15 mm).Ďalšie armatúry pre potrubný systém VI, vrátane oddeľovača fáz, odplyňovača, automatického odvzdušňovania plynu, VI/kryogénneho (pneumatického) uzatváracieho ventilu, VI pneumatického ventilu na reguláciu prietoku, VI/kryogénneho spätného ventilu, VI filtra, bezpečnostného poistného ventilu, systému čistenia, a vákuové čerpadlo atď.

3

MBE špeciálny oddeľovač fáz

Každý špeciálny separátor fáz s normálnym tlakom MBE má nasledujúce funkcie:

1. Snímač hladiny kvapalín a automatický systém riadenia hladiny kvapalín a okamžite zobrazené prostredníctvom elektrickej ovládacej skrinky.

2. Funkcia zníženia tlaku: prívod kvapaliny do separátora je vybavený pomocným systémom separátora, ktorý zaručuje tlak tekutého dusíka 3-4 bar v hlavnom potrubí.Pri vstupe do oddeľovača fáz plynulo znižujte tlak na ≤ 1 Bar.

3. Regulácia prívodu kvapaliny: vo vnútri oddeľovača fáz je usporiadaný systém riadenia vztlaku.Jeho funkciou je automatická úprava množstva prijatých tekutín pri zvýšení alebo znížení spotreby tekutého dusíka.To má tú výhodu, že znižuje prudké kolísanie tlaku spôsobené vstupom veľkého množstva tekutého dusíka pri otvorení vstupného pneumatického ventilu a zabraňuje pretlaku.

4. Funkcia vyrovnávacej pamäte, efektívny objem vo vnútri separátora zaručuje maximálny okamžitý prietok zariadenia.

5. Čistiaci systém: prúdenie vzduchu a vodnej pary v separátore pred prechodom kvapalného dusíka a vypustenie kvapalného dusíka v separátore po prechode kvapalného dusíka.

6. Funkcia automatického odľahčenia pretlaku: Zariadenie pri prvotnom prechode tekutým dusíkom alebo za zvláštnych okolností vedie k zvýšeniu splyňovania tekutého dusíka, čo vedie k okamžitému pretlaku celého systému.Náš fázový separátor je vybavený bezpečnostným poistným ventilom a skupinou bezpečnostných poistných ventilov, ktoré môžu efektívnejšie zabezpečiť stabilitu tlaku v separátore a zabrániť poškodeniu zariadenia MBE nadmerným tlakom.

7. Elektrická ovládacia skrinka, zobrazenie hladiny kvapaliny a hodnoty tlaku v reálnom čase, môže nastaviť hladinu kvapaliny v separátore a kvapalný dusík do množstva riadiaceho vzťahu.V rovnakom čase.V prípade núdze manuálne zabrzdenie odlučovača kvapalín do kvapalinového regulačného ventilu, aby sa zabezpečila bezpečnosť personálu a zariadenia na mieste.

4

Viacjadrový odplyňovač pre aplikácie HASS

Vonkajší zásobník na tekutý dusík obsahuje veľké množstvo dusíka, pretože sa skladuje a prepravuje pod tlakom.V tomto systéme je prepravná vzdialenosť potrubia dlhšia, je tu viac kolien a väčší odpor, čo spôsobí čiastočné splyňovanie tekutého dusíka.Vákuovo izolovaná trubica je v súčasnosti najlepším spôsobom prepravy tekutého dusíka, ale únikom tepla sa nedá vyhnúť, čo povedie aj k čiastočnému splyňovaniu tekutého dusíka.Stručne povedané, tekutý dusík obsahuje veľké množstvo dusíka, čo vedie k vzniku plynového odporu, čo má za následok, že prúdenie tekutého dusíka nie je plynulé.

Výfukové zariadenie na vákuovo izolovanom potrubí, ak nie je k dispozícii žiadne výfukové zariadenie alebo je nedostatočný objem výfukových plynov, bude viesť k odolnosti voči plynom.Akonáhle sa vytvorí odpor plynu, prepravná kapacita kvapalného dusíka sa výrazne zníži.

Viacjadrový odplyňovač navrhnutý výhradne našou spoločnosťou dokáže v maximálnej miere zabezpečiť vypúšťaný dusík z hlavného potrubia tekutého dusíka a zabrániť vzniku plynového odporu.A viacjadrový odplyňovač má dostatočný vnútorný objem, môže hrať úlohu vyrovnávacej nádrže, môže efektívne uspokojiť potreby maximálneho okamžitého prietoku potrubia roztoku.

Unikátna patentovaná viacjadrová štruktúra, efektívnejšia výfuková kapacita ako naše iné typy separátorov.

5
V pokračovaní v predchádzajúcom článku sú niektoré problémy, ktoré je potrebné zvážiť pri navrhovaní riešení pre vákuovo izolovaný potrubný systém pre kryogénne aplikácie v čipovom priemysle.

1

Dva typy vákuovo izolovaného potrubného systému

Existujú dva typy vákuovo izolovaného potrubného systému: systém statického VI a systém dynamického vákuového čerpania.

Statický VI systém znamená, že potom, čo je každá rúrka vyrobená v továrni, je na čerpacej jednotke povysávaná na stanovený stupeň vákua a utesnená.Pri inštalácii v teréne a uvedení do prevádzky nie je potrebné po určitú dobu opätovne evakuovať na miesto.

Výhodou Static VI System sú nízke náklady na údržbu.Keď je potrubný systém v prevádzke, údržba je potrebná o niekoľko rokov neskôr.Tento vákuový systém je vhodný pre systémy, ktoré nevyžadujú vysoké požiadavky na chladenie a otvorené miesta pre údržbu na mieste.

Nevýhodou Static VI System je, že vákuum s časom klesá.Pretože všetky materiály neustále uvoľňujú stopové plyny, čo je určené fyzikálnymi vlastnosťami materiálu.Materiál v plášti VI Pipe môže znížiť množstvo plynu uvoľneného pri procese, ale nedá sa úplne izolovať.To povedie k podtlaku utesneného vákuového prostredia, bude nižšie a nižšie, vákuová izolačná trubica bude postupne oslabovať chladiacu schopnosť.

Systém dynamického vákuového čerpania znamená, že po vyrobení a vytvarovaní potrubia sa potrubie stále evakuuje v továrni podľa procesu zisťovania netesností, ale vákuum nie je pred dodaním utesnené.Po dokončení inštalácie v teréne sa vákuové medzivrstvy všetkých rúrok spoja do jednej alebo viacerých jednotiek hadicami z nehrdzavejúcej ocele a na vysávanie rúr v teréne sa použije malé jednoúčelové vákuové čerpadlo.Špeciálna vákuová pumpa má automatický systém na monitorovanie podtlaku kedykoľvek a podľa potreby podtlak.Systém beží 24 hodín denne.

Nevýhodou systému dynamického vákuového čerpania je, že vákuum je potrebné udržiavať elektrinou.

Výhodou systému dynamického vákuového čerpania je, že stupeň vákua je veľmi stabilný.Prednostne sa používa vo vnútornom prostredí a požiadavkách na výkon vysávača veľmi vysokých projektov.

Náš systém dynamického vákuového čerpania, celá mobilná integrovaná špeciálna vákuová pumpa na zabezpečenie vysávania zariadenia, pohodlné a primerané usporiadanie na zabezpečenie účinku vákua, kvalita vákuového príslušenstva na zabezpečenie kvality vákua.

Pre projekt MBE, pretože zariadenie je v čistej miestnosti a zariadenie je v prevádzke dlhú dobu.Väčšina vákuovo izolovaného potrubného systému je v uzavretom priestore na medzivrstve čistej miestnosti.V budúcnosti nie je možné realizovať podtlakovú údržbu potrubného systému.To bude mať vážny dopad na dlhodobú prevádzku systému.Výsledkom je, že projekt MBE využíva takmer celý systém dynamického vákuového čerpania.

2

Systém na uvoľnenie tlaku

Systém odľahčenia tlaku hlavnej linky využíva skupinu bezpečnostných odľahčovacích ventilov.Skupina bezpečnostných poistných ventilov sa používa ako bezpečnostný ochranný systém pri pretlaku, potrubie VI nemožno nastaviť pri bežnom používaní

Bezpečnostný poistný ventil je kľúčovým komponentom, ktorý zabezpečí, že potrubný systém nebude pretlakový, bezpečná prevádzka, preto je nevyhnutný pri prevádzke potrubia.Ale poistný ventil podľa nariadenia musí byť zaslaný na kontrolu každý rok.Keď je použitý jeden poistný ventil a druhý je pripravený, keď je jeden poistný ventil odstránený, druhý poistný ventil je stále v potrubnom systéme, aby sa zabezpečila normálna prevádzka potrubia.

Skupina bezpečnostných poistných ventilov obsahuje dva bezpečnostné poistné ventily DN15, jeden na použitie a jeden na pohotovostný režim.V normálnej prevádzke je k potrubnému systému VI pripojený iba jeden bezpečnostný poistný ventil, ktorý beží normálne.Ostatné bezpečnostné poistné ventily sú odpojené od vnútorného potrubia a možno ich kedykoľvek vymeniť.Dva poistné ventily sú spojené a odpojené cez stav zapnutia bočného ventilu.

Skupina bezpečnostných poistných ventilov je vybavená manometrom na kontrolu tlaku v potrubnom systéme kedykoľvek.

Skupina bezpečnostných poistných ventilov je vybavená vypúšťacím ventilom.Môže sa použiť na vypúšťanie vzduchu v potrubí pri preplachovaní a dusík sa môže vypúšťať, keď je spustený systém kvapalného dusíka.

dav

Kryogénne zariadenia HL

HL Cryogenic Equipment, ktorá bola založená v roku 1992, je značkou pridruženou k Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company v Číne.HL Cryogenic Equipment sa zaviazala navrhovať a vyrábať vysoko vákuovo izolovaný kryogénny potrubný systém a súvisiace podporné vybavenie.

V dnešnom rýchlo sa meniacom svete je poskytovanie pokročilých technológií pri maximalizácii úspor nákladov pre zákazníkov náročná úloha.Už 30 rokov má spoločnosť HL Cryogenic Equipment Company v takmer všetkých kryogénnych zariadeniach a priemysle hlbšiu aplikačnú scénu, nazbierala bohaté skúsenosti a je spoľahlivá a neustále skúma a snaží sa držať krok s najnovším vývojom vo všetkých oblastiach života a poskytuje zákazníkom nové, praktické a efektívne riešenia zvyšujú konkurencieschopnosť našich zákazníkov na trhu.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Čas odoslania: 25. augusta 2021