Systémy chladenia tekutého dusíka sa široko používajú v priemysle polovodičov a čipov vrátane procesu,
- Technológia epitaxie molekulárneho lúča (MBE)
- Test čipu po COB Balíku
Súvisiace výrobky
Vákuová izolovaná séria potrubia
Vákuová izolovaná séria flexibilnej hadice
Systém dynamického vákuového čerpadla
Vákuovo izolované série separátora fázy
Vákuová izolovaná séria ventilov
Zariadenie na podporu potrubia
Epitaxia molekulového lúča
Technológia epitaxie molekulárneho lúča (MBE) bola vyvinutá v 50. rokoch 20. storočia na prípravu polovodičových tenkých filmových materiálov pomocou technológie vákuovej odparovania. S vývojom ultra vysokej vákuovej technológie sa aplikácia technológie rozšírila na oblasť polovodičov.
Spoločnosť HL si všimla dopyt po systéme chladenia dusíka MBE, organizovala technickú chrbticu, aby úspešne vyvinula špeciálny kvapalný systém kvapalného dusíka pre technológiu MBE a kompletný súbor vákuového izolovaného potrubného systému, ktorý sa používa v mnohých podnikoch, univerzitách a výskumných inštitúciách.
Medzi bežné problémy odvetvia polovodičov a čipov patrí,
- Tlak kvapalného dusíka do terminálového (MBE) zariadenia. Zabráňte preťaženiu tlaku v poškodení zariadení na poškodenie terminálu (MBE).
- Viacnásobné kryogénne vstupy a výstupné kontroly kvapaliny
- Teplota tekutého dusíka do terminálneho zariadenia
- Primerané množstvo emisií kryogénneho plynu
- (Automatické) prepínanie hlavných a vetvových čiar
- Nastavenie tlaku (zníženie) a stabilita VIP
- Vyčistenie možných nečistôt a zvyškov ľadu z nádrže
- Čas vyplnenia terminálového kvapalného zariadenia
- Predbežné vyberanie potrubia
- Kvapalný odpor vo VIP systému
- Kontrola straty tekutého dusíka počas diskontinuálnej služby systému
Vákuové izolované potrubie HL (VIP) je postavené na ASME B31.3 Tlakový kód potrubia ako štandard. Inžinierske skúsenosti a schopnosť kontroly kvality zabezpečiť efektívnosť a nákladovú efektívnosť závodu zákazníka.
Roztoky
Kryogénne vybavenie HL poskytuje zákazníkom vákuový izolovaný potrubný systém, ktorý spĺňa požiadavky a podmienky priemyslu polovodičov a čipov:
1. Systém riadenia kvality: ASME B31.3 Tlakový kód potrubia.
2. Špeciálny fázový separátor s viacnásobným kryogénnym vstupom a výstupom s automatickou kontrolnou funkciou spĺňa požiadavku emisie plynu, recyklovaný kvapalný dusík a teplotu kvapalného dusíka.
3.ADELITÁLNE A Včasný dizajn výfukových plynov zaisťuje, že terminálové vybavenie vždy funguje v rámci navrhnutej tlakovej hodnoty.
4. Bariéra plynu-kvapalina sa umiestni do vertikálnej rúrky VI na konci potrubia VI. Bariéra plynu-kvapalina používa princíp tesnenia plynu na blokovanie tepla od konca potrubia VI do potrubia VI a účinne znížiť stratu kvapalného dusíka počas diskontinuálnej a prerušovanej služby systému.
5.Vi potrubie kontrolované vákuovým izolovaným ventilom (VIV) série: vrátane vákuového izolovaného (pneumatického) uzatváracieho ventilu, vákuového izolovaného kontrolného ventilu, vákuového izolovaného regulačného ventilu atď. Rôzne typy VIV môžu byť modulárne kombinované na kontrolu VIP podľa potreby. Viv je integrovaný s prefabrikáciou VIP u výrobcu bez izolovanej liečby na mieste. Tesnená jednotka Viv je možné ľahko vymeniť. (HL akceptuje značku kryogénnej ventilu určenú zákazníkmi, a potom vyrába vákuové izolované ventily pomocou HL. Niektoré značky a modely ventilov nemusia byť možné vyrobiť do vákuových izolovaných ventilov.)
6. KONTROLE, ak existujú ďalšie požiadavky na čistotu povrchu vnútornej trubice. Navrhuje sa, aby si zákazníci vybrali potrubia z nehrdzavejúcej ocele BA alebo EP ako VIP vnútorné potrubia, aby sa ďalej znížilo rozliatie z nehrdzavejúcej ocele.
7.Vakuum izolovaný filter: Vyčistite možné nečistoty a zvyšky ľadu z nádrže.
8. Po niekoľkých dňoch alebo dlhšom vypnutí alebo údržbe je veľmi potrebné predvídať potrubie VI a terminálové vybavenie pred zadaním kryogénnej kvapaliny, aby sa zabránilo ľadovej troske po priamom vstúpení do potrubia VI a terminálového zariadenia VI. V dizajne by sa mala zvážiť funkcia predbežného odboru. Poskytuje lepšiu ochranu pre terminálne vybavenie a podporné zariadenia VI, ako sú ventily.
9. Prezikovanie pre dynamický aj statický vákuový izolovaný (flexibilný) potrubný systém.
10.Dynamický vákuový izolovaný (flexibilný) potrubný systém: pozostáva z flexibilných hadíc a/alebo VI potrubí, hadíc na prepojky, vákuového izolovaného ventilového systému, fázových separátorov a dynamického vákuového čerpadla (vrátane vákuových čerpadiel, solenoidných ventilov a vákuových meradiel atď.). Dĺžka flexibilnej hadice VI je možné prispôsobiť podľa požiadaviek používateľa.
11. Typy rôznych pripojení: môžete zvoliť pripojenie vákua bajonet (VBC) a zvárané pripojenie. Typ VBC nepotrebuje ošetrenie izolovanou izolovanou na mieste.
