Chladiace systémy s kvapalným dusíkom sú široko používané v priemysle polovodičov a čipov, vrátane procesu,
- Technológia molekulárnej epitaxie (MBE)
- Test čipu po balení COB
Súvisiace produkty
Séria vákuovo izolovaných potrubí
Séria vákuovo izolovaných flexibilných hadíc
Systém dynamického vákuového čerpadla
Séria vákuovo izolovaných fázových separátorov
Séria vákuovo izolovaných ventilov
Zariadenia na podporu potrubného systému
EPITAXIA MOLEKULÁRNEHO LÚČA
Technológia Molecular Beam Epitaxy (MBE) bola vyvinutá v 50. rokoch minulého storočia na prípravu polovodičových tenkovrstvových materiálov pomocou technológie vákuového naparovania. S rozvojom technológie ultravysokého vákua sa aplikácia technológie rozšírila aj do oblasti vedy o polovodičoch.
HL si všimol dopyt po chladiacom systéme s tekutým dusíkom MBE, zorganizoval technickú chrbticu na úspešný vývoj špeciálneho chladiaceho systému MBE s tekutým dusíkom pre technológiu MBE a kompletnú sadu vákuovo izolovaného potrubného systému, ktorý sa používa v mnohých podnikoch, univerzitách a výskumných ústavoch. .
Bežné problémy priemyslu polovodičov a čipov zahŕňajú,
- Tlak kvapalného dusíka do koncového (MBE) zariadenia. Zabráňte tlakovému preťaženiu z poškodenia koncového zariadenia (MBE).
- Viacnásobné ovládacie prvky vstupu a výstupu kryogénnej kvapaliny
- Teplota kvapalného dusíka v koncovom zariadení
- Primerané množstvo emisií kryogénnych plynov
- (Automatické) prepínanie hlavných a odbočných vedení
- Úprava tlaku (zníženie) a stabilita VIP
- Vyčistenie od prípadných nečistôt a zvyškov ľadu z nádrže
- Čas plnenia koncového kvapalného zariadenia
- Predchladenie potrubia
- Odolnosť voči tekutinám vo VIP systéme
- Kontrola straty kvapalného dusíka počas prerušovaného servisu systému
Vákuovo izolované potrubie HL (VIP) je štandardne skonštruované podľa normy ASME B31.3 Pressure Piping. Inžinierske skúsenosti a schopnosť kontroly kvality zabezpečiť efektívnosť a nákladovú efektívnosť závodu zákazníka.
RIEŠENIA
HL Cryogenic Equipment poskytuje zákazníkom vákuovo izolovaný potrubný systém, ktorý spĺňa požiadavky a podmienky priemyslu polovodičov a čipov:
1. Systém riadenia kvality: ASME B31.3 Kód tlakového potrubia.
2. Špeciálny fázový separátor s viacnásobným vstupom a výstupom kryogénnej kvapaliny s funkciou automatického riadenia spĺňa požiadavky na emisie plynu, recyklovaný kvapalný dusík a teplotu kvapalného dusíka.
3.Adekvátna a včasná konštrukcia výfuku zabezpečuje, že koncové zariadenie vždy pracuje v rámci projektovanej hodnoty tlaku.
4. Bariéra plyn-kvapalina je umiestnená vo zvislom potrubí VI na konci potrubia VI. Gas-liquid Barrier využíva princíp plynového tesnenia na blokovanie tepla z konca VI potrubia do VI potrubia a efektívne znižuje straty tekutého dusíka počas prerušovanej a prerušovanej prevádzky systému.
5.VI Potrubie ovládané vákuovo izolovaným ventilom (VIV) Séria: Vrátane vákuovo izolovaného (pneumatického) uzatváracieho ventilu, vákuovo izolovaného spätného ventilu, vákuovo izolovaného regulačného ventilu atď. Rôzne typy VIV možno modulárne kombinovať na ovládanie VIP ako požadované. VIV je integrovaný s VIP prefabrikáciou u výrobcu, bez izolačnej úpravy na mieste. Tesniacu jednotku VIV je možné jednoducho vymeniť. (HL akceptuje značku kryogénneho ventilu určenú zákazníkmi a potom vyrába vákuovo izolované ventily od HL. Niektoré značky a modely ventilov nemusia byť schopné vyrobiť vákuovo izolované ventily.)
6. Čistota, ak existujú dodatočné požiadavky na čistotu povrchu vnútornej rúrky. Odporúča sa, aby si zákazníci vybrali BA alebo EP rúrky z nehrdzavejúcej ocele ako VIP vnútorné rúrky, aby sa ďalej znížilo rozliatie nehrdzavejúcej ocele.
7. Vákuovo izolovaný filter: Vyčistite z nádrže možné nečistoty a zvyšky ľadu.
8. Po niekoľkých dňoch alebo dlhšej odstávke alebo údržbe je veľmi potrebné vopred ochladiť potrubie VI a koncové zariadenie pred vstupom kryogénnej kvapaliny, aby sa predišlo ľadovej troske po tom, čo kryogénna kvapalina vstúpi priamo do potrubia VI a koncového zariadenia. Pri návrhu by sa mala zvážiť funkcia predchladenia. Poskytuje lepšiu ochranu koncovým zariadeniam a podporným zariadeniam VI potrubia, ako sú ventily.
9. Oblek pre dynamický aj statický vákuovo izolovaný (flexibilný) potrubný systém.
10. Dynamický vákuovo izolovaný (flexibilný) potrubný systém: Pozostáva z VI flexibilných hadíc a/alebo VI potrubia, prepojovacích hadíc, vákuovo izolovaného ventilového systému, fázových separátorov a systému dynamických vákuových čerpadiel (vrátane vákuových čerpadiel, solenoidových ventilov a vákuových manometrov atď. ). Dĺžku jednej flexibilnej hadice VI možno prispôsobiť podľa požiadaviek užívateľa.
11. Rôzne typy pripojenia: Je možné vybrať typ vákuového bajonetového pripojenia (VBC) a zvárané pripojenie. Typ VBC nevyžaduje izolovanú úpravu na mieste.
