Systémy chladenia kvapalným dusíkom sa široko používajú v polovodičovom a čipovom priemysle vrátane procesu,
- Technológia molekulárnej lúčovej epitaxie (MBE)
- Test čipu po zabalení COB
Súvisiace produkty
Séria vákuovo izolovaných rúrok
Séria vákuovo izolovaných flexibilných hadíc
Dynamický systém vákuového čerpadla
Séria vákuovo izolovaných fázových separátorov
Séria vákuovo izolovaných ventilov
Podporné zariadenia potrubných systémov
MOLEKULÁRNA LÚČOVÁ EPITAXIA
Technológia molekulárnej lúčovej epitaxie (MBE) bola vyvinutá v 50. rokoch 20. storočia na prípravu tenkovrstvových polovodičových materiálov pomocou technológie vákuového naparovania. S rozvojom technológie ultravysokého vákua sa aplikácia tejto technológie rozšírila aj do oblasti polovodičovej vedy.
Spoločnosť HL si všimla dopyt po chladiacom systéme s kvapalným dusíkom MBE a zorganizovala technickú základňu pre úspešný vývoj špeciálneho chladiaceho systému s kvapalným dusíkom MBE pre technológiu MBE a kompletnej sady vákuovo izolovaných potrubných systémov, ktoré sa používajú v mnohých podnikoch, na univerzitách a vo výskumných ústavoch.
Medzi bežné problémy polovodičového a čipového priemyslu patria:
- Tlak kvapalného dusíka v terminálovom (MBE) zariadení. Zabráňte poškodeniu terminálového (MBE) zariadenia preťažením tlakom.
- Viaceré ovládacie prvky vstupu a výstupu kryogénnych kvapalín
- Teplota kvapalného dusíka v koncovom zariadení
- Primerané množstvo emisií kryogénnych plynov
- (Automatické) prepínanie hlavných a vedľajších vedení
- Nastavenie (redukcia) tlaku a stabilita VIP
- Čistenie nádrže od možných nečistôt a zvyškov ľadu
- Čas plnenia terminálového kvapalného zariadenia
- Predchladenie potrubia
- Odolnosť voči kvapalinám vo VIP systéme
- Kontrola úniku tekutého dusíka počas prerušovanej prevádzky systému
Vákuovo izolované potrubie (VIP) od spoločnosti HL je vyrobené podľa normy ASME B31.3 pre tlakové potrubia. Inžinierske skúsenosti a schopnosť kontroly kvality zabezpečujú efektívnosť a nákladovú efektívnosť zariadenia zákazníka.
RIEŠENIA
Spoločnosť HL Cryogenic Equipment poskytuje zákazníkom vákuovo izolované potrubné systémy, ktoré spĺňajú požiadavky a podmienky polovodičového a čipového priemyslu:
1. Systém riadenia kvality: ASME B31.3 Kódex tlakových potrubí.
2. Špeciálny fázový separátor s viacerými vstupmi a výstupmi kryogénnej kvapaliny s automatickou riadiacou funkciou spĺňa požiadavky na emisie plynov, recyklovaný kvapalný dusík a teplotu kvapalného dusíka.
3. Primeraný a včasný návrh odsávania zabezpečuje, že koncové zariadenie vždy pracuje v rámci navrhnutej hodnoty tlaku.
4. Plynokvapalinová bariéra je umiestnená vo vertikálnom potrubí VI na konci potrubia VI. Plynokvapalinová bariéra využíva princíp plynového tesnenia na blokovanie tepla z konca potrubia VI do potrubia VI a účinne znižuje stratu kvapalného dusíka počas prerušovanej a nepravidelnej prevádzky systému.
5. Potrubie VI ovládané vákuovo izolovaným ventilom série (VIV): Vrátane vákuovo izolovaného (pneumatického) uzatváracieho ventilu, vákuovo izolovaného spätného ventilu, vákuovo izolovaného regulačného ventilu atď. Rôzne typy VIV je možné modulárne kombinovať na ovládanie VIP podľa potreby. VIV je integrovaný s VIP prefabrikáciou vo výrobe, bez izolačnej úpravy na mieste. Tesniacu jednotku VIV je možné ľahko vymeniť. (HL akceptuje značku kryogénnych ventilov určenú zákazníkmi a potom vyrába vákuovo izolované ventily spoločnosťou HL. Niektoré značky a modely ventilov nemusia byť možné vyrobiť ako vákuovo izolované ventily.)
6. Čistota, ak existujú dodatočné požiadavky na čistotu povrchu vnútorného potrubia. Zákazníkom sa odporúča, aby si ako vnútorné potrubie VIP zvolili rúry z nehrdzavejúcej ocele BA alebo EP, aby sa ďalej znížilo rozliatie nehrdzavejúcej ocele.
7. Vákuovo izolovaný filter: Vyčistite nádrž od prípadných nečistôt a zvyškov ľadu.
8. Po niekoľkých dňoch alebo dlhšom odstavení alebo údržbe je veľmi dôležité predchladiť potrubie VI a koncové zariadenia pred vstupom kryogénnej kvapaliny, aby sa predišlo tvorbe ľadovej trosky po priamom vstupe kryogénnej kvapaliny do potrubia VI a koncových zariadení. Funkcia predchladenia by sa mala zohľadniť pri návrhu. Poskytuje lepšiu ochranu koncových zariadení a podporných zariadení potrubia VI, ako sú napríklad ventily.
9. Vhodné pre dynamické aj statické vákuovo izolované (flexibilné) potrubné systémy.
10. Dynamický vákuovo izolovaný (flexibilný) potrubný systém: Pozostáva z flexibilných hadíc VI a/alebo potrubia VI, prepojovacích hadíc, systému vákuovo izolovaných ventilov, fázových oddeľovačov a systému dynamických vákuových čerpadiel (vrátane vákuových čerpadiel, solenoidových ventilov a vákuomerov atď.). Dĺžku jednej flexibilnej hadice VI je možné prispôsobiť podľa požiadaviek používateľa.
11. Rôzne typy pripojenia: Možno zvoliť typ vákuového bajonetového pripojenia (VBC) a zvárané pripojenie. Typ VBC nevyžaduje tepelnú úpravu na mieste.
